點缺陷︰單晶材料點缺陷包括空位折腰、間隙原子和微缺陷等内层。空位娘咧、間隙原子︰點缺陷包括熱點缺陷（本征點缺陷）和雜質點缺陷（非本征點缺陷）一边走。

1微下蹲、熱點缺陷

其中熱點缺陷有兩種基本形式︰弗侖克爾缺陷和肖特基缺陷讲话总。單晶中空位和間隙原子在熱平衡時的濃度與溫度有關我谨慎。溫度愈高自毁，平衡濃度愈大对缥缈。高溫生長的　單晶陌安静，在冷卻過程中過飽和的間隙原子和空位要消失我停下，其消失的途徑是︰空位和間隙原子相遇使復合消失；擴散到晶體表面消失；或擴散到位錯區消失並引起位錯攀移张照片。間隙原子和空位目前尚無法觀察盘道。

2视线烫、雜質點缺陷

A清魂骨、替位雜質點缺陷摄影，如　晶體中的磷包抄、硼面甩、碳等雜質原子

B雪蚕则、間隙雜質點缺陷四块，如　晶體中的氧等

3声娇媚、點缺陷之間相互作用

一個空位和一個間隙原子結合使空位和間隙原子同時湮滅（復合）前唐虎，兩個空位形成雙空位或空位團近火，間隙原子聚成團可一世，熱點缺陷和雜質點缺陷相互作用形成單晶碳化　　復雜的點缺陷復合體等好意思。